溅射靶材用无氧铜板
发布时间：2019-11-22点击：4140
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产品详细
溅射靶材用无氧铜板
我公司采用先进的铜铝压延加工设备，成熟的加工工艺，可为各种规格的铜铝靶材提供靶材（板靶及铜背板坯料。其广泛用于平面显示器镀膜、光伏/光热镀膜和建筑/汽车玻璃大面积镀膜等行业，被国内外靶材制造商广泛使用。
我公司生产的铜、铝靶材及背板坯料具有以下特点：
1.高纯度，铜材纯度可达到3N7以上，铝材可达到5N以上；
2.高致密度，材料经过大加工率的压力加工，使得成份与组织结构均匀;
3.晶粒尺寸细小分布均匀，且大小控制在50-200μm；
4.良好的板型平整度和尺寸公差.
表1：高纯铜TU3（C10200）化学成份（Chemical composition）
元素Elements | Cu+Ag | P | Bi | Sb | As | Fe | Ni | Pb | Sn | S | Zn | O |
含量（%）Contents | ≧ 99.97 | ≦ 0.0002 | ≦0.001 | ≦0.002 | ≦ 0.002 | ≦0.004 | ≦0.002 | ≦0.003 | ≦0.002 | ≦0.004 | ≦ 0.003 | ≦ 0.002 |
表2：铜板靶、铜背板所供产品规格（Product specifications）
品种 Type | 牌号 Alloys | 规格（mm）Dimension | 执行标准 Standard | ||
厚度Thickness | 宽度Width | 长度Length | |||
高纯铜板Copper plates | TU1(C10200) | ＞3.0～60 | 100～3000 | ≤6000 | 企业专用标准 或双方协商 |
